[发明专利]热处理方法

摘要

本发明的目的在于，提供一种能够容易设置装置且能够缩短热处理时间的热处理方法及热处理装置。为了实现该目的，首先，准备在一个主面上形成有包含掺杂剂的单分子层薄膜及多分子层薄膜中的至少一方薄膜的基板。接着，将准备的基板配置于腔室内，通过第一灯向该基板照射光，来实施温度高于加热前的温度的第一温度区域的预备热处理，从而将包含于薄膜的掺杂剂从该薄膜导入基板的表层。然后，通过第二灯，向实施了预备热处理且配置于腔室内的基板照射闪光，来将基板从第一温度区域加热到温度高于该第一温度区域的第二温度区域，从而对导入基板的表层的掺杂剂进行活化。

主权项

一种热处理方法，其特征在于，包括：步骤(a)，准备在一个主面上形成有包含掺杂剂的单分子层薄膜及多分子层薄膜中的至少一方薄膜的基板；步骤(b)，将在所述步骤(a)准备的所述基板配置于腔室内；步骤(c)，用第一灯向在所述步骤(b)配置于所述腔室内的所述基板照射光，来实施温度高于加热之前的温度的第一温度区域的预备热处理，从而将包含于所述薄膜的所述掺杂剂从该薄膜导入所述基板的表层；以及，步骤(d)，用第二灯向在所述步骤(c)实施了预备热处理且配置于所述腔室内的所述基板照射闪光，来将所述基板从所述第一温度区域加热到温度高于该第一温度区域的第二温度区域，从而对在所述步骤(c)导入所述基板的表层的所述掺杂剂进行活化。