[发明专利]激光系统和激光退火装置在审
| 申请号： | 201580075815.9 | 申请日： | 2015-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN107251341A | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 大久保智幸;池上浩;柿崎弘司;上场康弘;若林理 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人九州大学;极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;H01L21/20;H01L21/268;H01S3/0975;H01S3/23 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,龚晓娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种激光系统，其是作为对被加工物照射脉冲激光的激光退火装置的光源的激光系统，该激光系统可以具备生成脉冲激光的激光装置；能够改变脉冲激光的脉冲时间波形的脉冲时间波形可变装置；以及从激光退火装置接收脉冲时间波形生成参数，对脉冲时间波形可变装置进行控制的控制部。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 系统 退火 装置 | ||
【主权项】：
一种激光系统，其是作为对被加工物照射脉冲激光的激光退火装置的光源的激光系统，其中，该激光系统具备：激光装置，其生成所述脉冲激光；脉冲时间波形可变装置，其能够改变所述脉冲激光的脉冲时间波形；以及控制部，其从所述激光退火装置接收脉冲时间波形生成参数，对所述脉冲时间波形可变装置进行控制。
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