[发明专利]热蒸发器有效
| 申请号： | 201580076669.1 | 申请日： | 2015-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN107250422B | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | B·麦克拉迪;A·马蒂厄;C·马克苏德;T·L·雅各布斯 | 申请（专利权）人： | 依视路国际公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 张振军;刘娜 |
| 地址： | 法国沙*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 在此描述了用于用包括疏水性涂层的至少两个功能涂层涂覆基材的气相沉积装置和方法。一些实施例包括至少具有第一蒸发器和第二蒸发器的气相沉积装置，其中将被配置成施加该疏水性涂层的蒸发器升高到另一个蒸发器上方并且因此更接近该基材。其他实施例包括用此类蒸发器并且以不同距离来涂覆基材的方法。本披露的实施例可对于涂覆眼镜镜片是有用的。还披露了其他实施例。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发器 | ||
【主权项】：
1.一种真空沉积方法，包括以下步骤：从布置在真空沉积室中的第一蒸发源蒸发第一成膜材料；将该蒸发的第一成膜材料沉积在位于该第一蒸发源上方的基材上以在该基材上形成减反射涂层的至少一部分，从布置在该真空沉积室中的第二蒸发源蒸发第二成膜材料；并且将该蒸发的第二成膜材料沉积在位于该第二蒸发源上方的基材上以在该基材上形成疏水性涂层，其中该第一蒸发源距该基材第一竖直距离，该第二蒸发源距该基材第二竖直距离，并且其中该第二竖直距离小于该第一竖直距离的75％。
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