[发明专利]用于检测导电和/或可极化粒子的传感器、传感器系统、用于操作传感器的方法、此类型传感器的制造方法以及此类型传感器用途有效
| 申请号： | 201580076848.5 | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN107430053B | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 蒂姆·阿斯穆斯;卡尔海因茨·韦南德;斯蒂芬·迪耶特曼;马丁·孔茨 | 申请（专利权）人： | 贺利氏耐克森索斯有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 德国小奥*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检测导电和/或可极化粒子的传感器(10)，尤其是用于检测烟尘粒子(30)，传感器包括衬底(11)和至少两个电极层(12、13)，设有第一电极层(12)和布置在衬底(11)和第一电极层(12)之间的至少一个第二电极层(13)。至少一个绝缘层(14)形成于第一电极层(12)和至少一个第二电极层(13)之间的，至少一个开口(15，16)形成在第一电极层(12)中和至少一个绝缘层(14)中，第一电极层中开口(15)的至少一些部分和绝缘层(14)中开口(16)的至少一些部分彼此层叠布置，以便形成通向第二电极层(13)的至少一个通道(17、17'、17")。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 导电 极化 粒子 传感器 系统 操作 方法 类型 制造 以及 用途 | ||
【主权项】：
一种用于检测导电和/或可极化粒子的传感器(10)，尤其是用于检测烟尘粒子(30)，其包括衬底(11)和至少两个电极层(12、13)，布置有第一电极层(12)以及布置在所述衬底(11)和所述第一电极层(12)之间的至少一第二电极层(13)，形成于所述第一电极层(12)和所述至少一第二电极层(13)之间的至少一个绝缘层(14)，以及分别形成于所述第一电极层(12)中和所述至少一个绝缘层(14)中的至少一个开口(15、16)，所述第一电极层(12)中的开口(15)和所述绝缘层(14)中的开口(16)至少在特定部位彼此层叠布置，以便形成通向所述第二电极层(13)的至少一条通道(17、17'、17)。
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