[发明专利]用于光学干涉计的镜板及光学干涉计有效
| 申请号： | 201580077176.X | 申请日： | 2015-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN107250741B | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | A.瓦普拉;C.霍姆伦德;A.里斯桑恩 | 申请（专利权）人： | 芬兰国家技术研究中心股份公司 |
| 主分类号： | G01J3/26 | 分类号： | G01J3/26;G02B26/00;G02B5/28;G02B5/08;B81B7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 肖日松;傅永霄 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
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| 摘要： | 一种用于法布里‑珀罗干涉计(300)的镜板(100)包括：‑基底(50)，其包括硅(Si)，‑在基底(50)上实施的半透明反射涂层(110)，‑在基底(50)上形成的去耦结构(DC1)，‑在去耦结构(DC1)之上形成的第一传感器电极(G1a)，以及‑第二传感器电极(G1b)，其中去耦结构(DC1)包括电绝缘层(60a)，以及第一稳定电极(G0a)，其位于第一传感器电极(G1a)与基底(50)之间。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 去耦结构 电极 第一传感器 光学干涉 镜板 半透明反射 第二传感器 电绝缘层 稳定电极 法布里 干涉 | ||
【主权项】：
一种用于法布里‑珀罗干涉计(300)的镜板(100)，所述镜板(100)包括：‑基底(50)，其包括硅(Si)，‑在所述基底(50)上实施的半透明反射涂层(110)，‑在所述基底(50)上形成的去耦结构(DC1)，‑在所述去耦结构(DC1)之上形成的第一传感器电极(G1a)，以及‑第二传感器电极(G1b)，其中所述去耦结构(DC1)包括电绝缘层(60a)，其特征在于，所述去耦结构(DC1)还包括位于所述第一传感器电极(G1a)与所述基底(50)之间的第一稳定电极(G0a)。
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