[发明专利]一种锥形波导及硅基芯片有效
| 申请号： | 201580077733.8 | 申请日： | 2015-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN107924024B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 赵飞;李明 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122;G02B6/30 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 冯艳莲 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种锥形波导，包括中心波导(10)以及设置在该中心波导两侧的浅刻蚀条波导(20)，其中，每个浅刻蚀条波导(20)为宽度渐变的结构，浅刻蚀条波导(20)沿其长度方向远离中心波导(10)的外形线为没有突变的内凹弧形。该锥形波导的有效折射率变化相对缓慢，有效减小了器件插损；同时，在浅刻蚀条波导宽度较大的区域长度比较短，有效减小了器件长度，有利于器件的小型化。还披露了一种硅基芯片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锥形 波导 芯片 | ||
【主权项】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。
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