[发明专利]具有改进的灵敏度的MEMS麦克风有效
申请号: | 201580078150.7 | 申请日: | 2015-03-24 |
公开(公告)号: | CN107534817B | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | L.邹;G.罗卡 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;H04R19/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 王岳;杜荔南 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了具有改进的灵敏度(例如降低的灵敏度的温度依赖性)的MEMS麦克风。麦克风包括MEMS电容器、充电电路和偏置电路。偏置电路包括闭环控制电路并且创建具有温度依赖性的电压。 | ||
搜索关键词: | 具有 改进 灵敏度 mems 麦克风 | ||
【主权项】:
一种具有改进的灵敏度的MEMS麦克风(MM),包括:‑ 具有可变电容的MEMS电容器(MCAP);‑ 被提供用于对MEMS电容器(MCAP)充电的充电电路(CC);‑ 被提供用于创建施加到充电电路(CC)的偏置电压Vbias的偏置电路(BC),其中:‑ 偏置电路(BC)包括闭环控制电路(CLCC),以及‑ 偏置电压Vbias具有温度依赖性。
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