[发明专利]处理液的脱气判定方法在审
| 申请号： | 201580078446.9 | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107427743A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 村山隆史 | 申请（专利权）人： | 株式会社杰希优 |
| 主分类号： | B01D19/00 | 分类号： | B01D19/00;C25D7/00;C25D7/12;C25D21/04;C25D21/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 舒艳君,李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 不管气体的种类等而可靠地判定用于处理在表面具有由槽、孔构成的精细图案的作业对象物的处理液的脱气程度。本发明的处理液的脱气判定方法在进行用于处理在表面具有由槽、孔构成的精细图案的作业对象物的处理液所包含的气体的脱气的脱气处理槽内，浸渍用于判定该脱气处理槽内的上述处理液的脱气程度的在表面具备具有需要的凹凸的精细图案的模拟作业对象物，根据该模拟作业对象物的表面状态的时间变化，判定上述处理液的脱气程度。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 脱气 判定 方法 | ||
【主权项】：
一种处理液的脱气判定方法，其特征在于，在进行用于处理在表面具有由槽、孔构成的精细图案的作业对象物的处理液所包含的气体的脱气的脱气处理槽内，浸渍用于判定该脱气处理槽内的上述处理液的脱气程度的在表面具备具有需要的凹凸的精细图案的模拟作业对象物，根据该模拟作业对象物的表面状态的时间变化，判定上述处理液的脱气程度。
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