[发明专利]谐振子以及谐振装置

摘要

即使在小型化的谐振装置中，也防止振动臂与上下的基板接触。谐振装置具备谐振子以及将谐振子夹在之间并相互对置的上盖和下盖，谐振子具有：基部；多个振动臂，具有压电体和将该压电体夹在之间并相互对置的1对电极层，一端与基部的前端连接，沿远离基部的方向延伸；保持部，被设置于基部以及振动臂的周围的至少一部分；以及保持臂，一端与基部连接，另一端在与多个振动臂的一端相比更靠多个振动臂的另一端侧与保持部连接，基部、多个振动臂以及保持臂具有基板以及层叠于该基板的、由热膨胀率与该基板不同的材料构成的温度特性修正层，并且由基板以及温度特性修正层一体地形成。

主权项

一种谐振装置，其特征在于，具备：谐振子；以及将所述谐振子夹在之间并相互对置的上盖和下盖，所述谐振子具有：基部；多个振动臂，具有压电体和将该压电体夹在之间并相互对置的1对电极层，一端与所述基部的前端连接，向远离所述基部的方向延伸；保持部，被设置于所述基部以及所述振动臂的周围的至少一部分；以及保持臂，一端与所述基部连接，另一端在与所述多个振动臂的所述一端相比更靠所述多个振动臂的另一端侧与所述保持部连接，所述基部、所述多个振动臂以及所述保持臂具有基板以及层叠于该基板的、由热膨胀率与该基板不同的材料构成的温度特性修正层，并且由所述基板以及所述温度特性修正层一体地形成。