[发明专利]干涉条纹投影光学系统和形状测定装置有效
| 申请号： | 201580079242.7 | 申请日： | 2015-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN107532888B | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 松本浩司 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;于英慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 具有：干涉条纹生成光学系统(11)，其生成干涉条纹；以及放大光学系统(21)，其将干涉条纹放大而投影到物体表面(70)上，放大光学系统(21)由形成干涉条纹的光束所入射的一侧的入射侧透镜组(22)和射出光束而朝向物体表面投影干涉条纹的一侧的射出侧透镜组(23)构成，在设入射侧透镜组(22)的焦距为f1，射出侧透镜组(23)的焦距为f2时，f1/f2＞3，入射侧透镜组(22)和射出侧透镜组(23)分别具有正屈光力，在设从入射侧透镜组(22)的射出侧主点到射出侧透镜组(23)的入射侧主点的距离为xd时，满足xd/(f1+f2)＜2。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 条纹 投影 光学系统 形状 测定 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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