[发明专利]部件处理组件在审

专利信息
申请号: 201580079378.8 申请日: 2015-05-29
公开(公告)号: CN107534010A 公开(公告)日: 2018-01-02
发明(设计)人: R.希特曼恩;M.肖勒;D.施米德 申请(专利权)人: 罗斯柯公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H05K13/04;B65G47/91;G01R31/28
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司72001 代理人: 李晨,安文森
地址: 德国科*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 根据本发明,提供有一种适合于促进将多个部件装载到承载件上或者从所述承载件卸载多个部件的部件处理组件(),所述组件包括承载件(1),所述承载件(1)包括多个部件(50)能够被支撑在其上的表面(3),其中,所述表面(3)具有限定在其内的多个孔(5);真空发生器(21),所述真空发生器(21)能够被布置成与所述承载件(1)的表面(3)中的所述多个孔(5)流体连通,以使得能够通过所述多个孔(5)将真空施加至所述承载件(1)的表面(3)上所支撑的部件(50),以将部件(50)保持在所述承载件(5)的表面(3)上;真空传感器(22),所述真空传感器(22)用于感测被施加至所述承载件的表面(3)上所支撑的部件(50)的真空水平;控制器(23),所述控制器(23)用于在将(一个或多个)部件装载到所述承载件的表面(3)上和/或从所述承载件的表面(3)卸载(一个或多个)部件期间基于由所述真空传感器(22)所感测到的所述真空水平来控制所述真空发生器(21),以使得在将(一个或多个)部件(50)装载到所述承载件(1)上和/或从所述承载件(1)卸载(一个或多个)部件(50)期间将预限定真空水平施加至所述表面(3)上所支撑的(一个或多个)部件(50)。还提供有一种处理部件(50)的对应的方法。
搜索关键词: 部件 处理 组件
【主权项】:
一种适合于促进将多个部件装载到承载件上或者从所述承载件卸载多个部件的部件处理组件,所述组件包括:承载件,所述承载件包括多个部件能够被支撑在其上的表面,其中,所述表面具有限定在其内的多个孔;真空发生器,所述真空发生器能够被布置成与所述承载件的表面中的所述多个孔流体连通,以使得能够通过所述多个孔将真空施加至所述承载件的表面上所支撑的部件,以将部件保持在所述承载件的表面上;真空传感器,所述真空传感器用于感测被施加至所述承载件的表面上所支撑的部件的真空水平;控制器,所述控制器用于在将(一个或多个)部件装载到所述承载件的表面上和/或从所述承载件的表面卸载(一个或多个)部件期间基于由所述真空传感器所感测到的所述真空来控制所述真空发生器,以使得在将(一个或多个)部件装载到所述承载件上和/或从所述承载件卸载(一个或多个)部件期间将预限定真空水平施加至所述表面上所支撑的(一个或多个)部件。
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