[发明专利]光辐射设备和用于测量光辐射的方法在审
| 申请号： | 201580079389.6 | 申请日： | 2015-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN107567578A | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | A.M.吉格勒;H.赫德勒;R.帕斯图夏克;A.希克 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 侯宇 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种辐射测量设备，其带有样本区域、用于照射能够定位在所述样本区域中的样本的照明单元和用于利用辐射探测器探测由样本发出的辐射的探测单元。照明单元具有辐射源、沿辐射方向布置在辐射源之后的用于将辐射分解为其光谱成分的第一色散元件、沿辐射方向布置在第一色散元件之后的用于选择光谱成分的第一微镜场，和沿辐射方向布置在第一微镜场之后的用于将被选择的光谱成分汇聚成共同的激励辐射的第二色散元件。本发明还涉及一种用于利用所述辐射测量设备测量光辐射的方法，其中，借助第一微镜场的单个微镜的激活和/或去激活来选择激励辐射的光谱组成。 | ||
| 搜索关键词： | 光辐射 设备 用于 测量 方法 | ||
【主权项】：
一种辐射测量设备(1)，带有‑样本区域(3)，‑照明单元(7)，用于照射能够定位在所述样本区域(3)中的样本(5)，和‑探测单元(35)，用于利用辐射探测器(47)探测由样本(5)发出的辐射(31)，其中，照明单元(7)具有‑辐射源(9)，‑沿辐射方向布置在辐射源(9)之后、用于将辐射分解为其光谱成分(λ1‑λ6)的第一色散元件(15)，‑沿辐射方向布置在第一色散元件(15)之后、用于选择光谱成分(λ2)的第一微镜场(17)，和‑沿辐射方向布置在第一微镜场(17)之后、用于将被选择的光谱成分(λ2)汇聚成共同的激励辐射(25)的第二色散元件(21)。
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