[发明专利]基板作业装置及基板作业装置中的粘性流体剩余量测定方法有效
| 申请号： | 201580080023.0 | 申请日： | 2015-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN107535055B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 川井太朗 | 申请（专利权）人： | 雅马哈发动机株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/34 | 分类号： | H05K3/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 穆德骏;谢丽娜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 基板作业装置具备：刮板部(82)，刮取并弄平向转印对象物(31)转印的粘性流体(L)；拍摄部(43)，拍摄包括存在被该刮板部(82)刮取而成为块状的粘性流体(Lb)的部分和不存在粘性流体(Lb)的部分的预定区域；及控制部(9)，基于由拍摄部(43)拍摄到的预定区域的拍摄图像中的、存在粘性流体(Lb)的部分的大小和不存在粘性流体(Lb)的部分的大小中的至少一方，来取得粘性流体(Lb)的剩余量。 | ||
| 搜索关键词： | 作业 装置 中的 粘性 流体 剩余 测定 方法 | ||
【主权项】：
一种基板作业装置，具备：刮板部，刮取并弄平向转印对象物转印的粘性流体；拍摄部，拍摄预定区域，所述预定区域包括存在被所述刮板部刮取而成为块状的所述粘性流体的部分和不存在所述粘性流体的部分；及控制部，基于由所述拍摄部拍摄到的所述预定区域的拍摄图像中的、存在所述粘性流体的部分的大小和不存在所述粘性流体的部分的大小中的至少一方，来取得所述粘性流体的剩余量。
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