[发明专利]用于自对准互连件、插塞和过孔的织物式图案化

摘要

本发明的实施例包括形成织物式图案化硬掩模的方法。在实施例中，以交替的图案在互连层的顶表面上方形成第一硬掩模和第二硬掩模。然后可以在第一硬掩模和第二硬掩模上方形成牺牲交叉光栅。在实施例中，去除第一硬掩模未被牺牲交叉光栅覆盖的部分，以形成第一开口，并将第三硬掩模沉积至第一开口中。实施例然后可以包括蚀刻通过第二硬掩模未被牺牲交叉光栅覆盖的部分以形成第二开口。可以利用第四硬掩模填充第二开口。根据实施例第一硬掩模、第二硬掩模、第三硬掩模和第四硬掩模相对于彼此具有蚀刻选择性。在实施例中，然后可以去除牺牲交叉光栅。

主权项

1.一种形成织物式图案化硬掩模的方法，包括：以交替的图案在互连层的顶表面上方形成第一硬掩模材料和第二硬掩模材料，其中，所述第一硬掩模材料和所述第二硬掩模材料相对于彼此具有蚀刻选择性；在所述第一硬掩模材料和所述第二硬掩模材料上方形成牺牲交叉光栅；蚀刻通过所述第一硬掩模材料未被所述牺牲交叉光栅覆盖的部分，以形成第一开口；将第三硬掩模材料沉积至所述第一开口中，其中，所述第三硬掩模材料相对于所述第一硬掩模材料和所述第二硬掩模材料具有蚀刻选择性；蚀刻通过所述第二硬掩模材料未被所述牺牲交叉光栅覆盖的部分，以形成第二开口；将第四硬掩模材料沉积至所述第二开口中，其中，所述第四硬掩模材料相对于所述第一硬掩模材料、所述第二硬掩模材料和所述第三硬掩模材料具有蚀刻选择性；以及去除所述牺牲交叉光栅。