[发明专利]光学干涉仪

摘要

光学干涉仪(1A)具备分支合波部(10)、第一光学系统(20)、第二光学系统(30)以及驱动部(40)，可以由MEMS构成。分支合波部(10)在透明构件的内部与外部之间的边界上具有分支面(11)、入射面(12)、出射面(13)以及合波面(14)。分支合波部(10)在分支面(11)上使入射光(L0)的一部分反射并作为第一分支光(L11)出射并且将剩余部分作为第二分支光(L21)向内部透过。分支合波部(10)在合波面(14)上使第一分支光(L12)向外部出射并且使第二分支光(L22)反射，对两个光进行合波并作为合波光(L3)向外部出射。由此，实现了能够减小从分支到合波的期间的光损失并且能够改善干涉效率的MEMS所构成的光学干涉仪。

主权项

一种光学干涉仪，其特征在于：具备由MEMS构成的分支合波部、第一光学系统、第二光学系统以及驱动部，所述分支合波部在透明构件的内部与外部之间的边界具有分支面、入射面、出射面以及合波面，所述分支面和所述合波面是不同的面，所述分支合波部在所述分支面上使从外部入射的入射光的一部分反射并作为第一分支光出射，并且将剩余部分作为第二分支光向内部透过，所述分支合波部在所述入射面上使从所述分支面经所述第一光学系统入射的所述第一分支光向内部透过，所述分支合波部在所述出射面上使从所述分支面经内部到达的所述第二分支光向外部出射，所述分支合波部在所述合波面上使从所述入射面经内部到达的所述第一分支光向外部出射，并且使从所述出射面经所述第二光学系统入射的所述第二分支光反射，对所述第一分支光和所述第二分支光进行合波并作为合波光向外部出射，所述第一光学系统由1个或者多个镜使从所述分支面出射的所述第一分支光反射并入射到所述入射面，所述第二光学系统由1个或者多个镜使从所述出射面出射的所述第二分支光反射并入射到所述合波面，所述驱动部使所述第一光学系统或者第二光学系统的任意的镜移动并调整从所述分支面到所述合波面为止的所述第一分支光以及所述第二分支光各自的光路长的差，所述第一光学系统的镜的个数与所述第二光学系统的镜的个数之和为偶数，对所述入射光的光束截面中的各个位置的光线在所述分支面上进行分支之后在所述合波面上在所述合波光的光束截面中的共同位置上进行合波。