[发明专利]离子迁移率分析用漂移管以及离子迁移率分析装置在审

专利信息
申请号: 201580082594.8 申请日: 2015-08-24
公开(公告)号: CN108027343A 公开(公告)日: 2018-05-11
发明(设计)人: 长井悠佑 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: G01N27/62 分类号: G01N27/62
代理公司: 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 代理人: 杨楷;毛立群
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 将在由氧化铝等绝缘体构成的板状部件(11)的表面利用涂布法、蒸镀法等形成恒定膜厚的电阻膜层(12)的4个带电阻膜层部件贴合,由此形成方筒状的漂移管(10)。分别将来自漂移电压产生部(8)的规定电压施加至该漂移管(10)的两端的电阻膜层(12),由此在漂移管(10)内的脱溶剂区域(2)以及漂移区域(3)沿着中心轴(C)形成具有直线状的电位梯度的加速电场。离子因该加速电场而漂移,根据离子迁移率被分离。带电阻膜层部件本身能够低成本地制作,漂移管(10)的组装工序也简单,因此能够以低廉的成本提供漂移管(10)。此外,电阻膜层(12)的膜厚的均匀性较高,因此,也消除了分析精度和分辨率的偏差,能够实现高精度、高分辨率。
搜索关键词: 离子迁移率 分析 漂移 以及 装置
【主权项】:
1.一种离子迁移率分析用漂移管,是为了解决上述技术问题而完成的本发明的离子迁移率分析用漂移管,在内部形成通过加速电场使离子漂移的漂移区域,其特征在于,通过在不具有封闭为筒状的部分的绝缘性板状部件的表面形成电阻体膜层而形成多个带电阻膜层部件,以所述电阻体膜层面向内周侧的方式将所述多个带电阻膜层部件组装成筒状而形成所述离子迁移率分析用漂移管。
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