[发明专利]激光装置管理系统有效
| 申请号： | 201580082992.X | 申请日： | 2015-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN108028506B | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 峰岸裕司;五十岚豊;太田毅 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;G03F7/20;G06F21/62 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;金玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种激光装置管理系统，其可以具备：服务器，以存储第一信息、第二信息和第三信息的方式构成，第一信息以通过第一访问权限可以进行访问的方式受到访问限制，第二信息以通过第二访问权限可以进行访问的方式受到访问限制，第三信息以通过第一访问权限和第二访问权限的双方可以进行访问的方式受到访问限制；以及激光装置，包括激光输出部和控制部，激光输出部向进行晶片曝光的曝光装置输出脉冲激光束，控制部进行将第一信息、第二信息和第三信息保存在服务器中的控制。第二信息包括互相建立对应的曝光装置的晶片曝光关联信息与激光装置的激光控制关联信息。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 装置 管理 系统 | ||
【主权项】：
1.一种激光装置管理系统，具备：服务器，以存储第一信息、第二信息和第三信息的方式构成，所述第一信息以通过第一访问权限可以进行访问的方式受到访问限制，所述第二信息以通过第二访问权限可以进行访问的方式受到访问限制，所述第三信息以通过所述第一访问权限和所述第二访问权限的双方可以进行访问的方式受到访问限制；以及激光装置，包括激光输出部和控制部，所述激光输出部向进行晶片曝光的曝光装置输出脉冲激光束，所述控制部进行将所述第一信息、所述第二信息和所述第三信息保存在所述服务器中的控制，所述第二信息包括互相建立对应的所述曝光装置的晶片曝光关联信息与所述激光装置的激光控制关联信息。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于极光先进雷射株式会社，未经极光先进雷射株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201580082992.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
