[发明专利]用于实时测试控制的集成测量和微机械定位的设备在审
| 申请号： | 201580083802.6 | 申请日： | 2015-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN108139428A | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 米科·瓦哈索伊林基 | 申请（专利权）人： | 三思派科有限公司 |
| 主分类号： | G01Q20/00 | 分类号： | G01Q20/00;B25J7/00;G01Q10/06;B82Y35/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王晖;李丙林 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量装置(120)，例如用于测试的测量装置，包括：用于引起传感器(150)相对于目标(110)的移动的微机械定位致动器(130)；定位控制器(145)，该定位控制器(145)具有输出端，该输出端耦合到致动器(130)以用于控制所述移动，且该定位控制器具有输入端，该输入端耦合到传感器(150)以用于接收从传感器(150)到定位控制器(145)的传感器信号，并且该定位控制器(145)被布置成基于传感器信号来控制所述移动。测量装置(120)可以具有用于存储定位控制指令(300)的存储器。定位控制器(145)可以被布置成基于所述传感器信号和所述定位控制指令(300)来控制所述移动。 | ||
| 搜索关键词： | 定位控制器 传感器信号 测量装置 传感器 定位控制指令 移动 微机械 实时测试控制 定位致动器 输出端耦合 输入端耦合 集成测量 存储器 输出端 输入端 致动器 存储 测试 | ||
【主权项】：
一种测量装置，包括：‑微机械定位致动器，所述微机械定位致动器用于引起传感器相对于目标的移动，‑定位控制器，所述定位控制器具有输出端，所述输出端耦合到所述致动器以用于控制所述移动，‑所述定位控制器具有传感器输入端，所述传感器输入端耦合到所述传感器，以用于接收从所述传感器到所述定位控制器的传感器信号，以及‑所述定位控制器被布置成基于所述传感器信号控制所述移动。
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