[发明专利]使用高温化学品和超声波装置清洗衬底的方法和装置在审
| 申请号： | 201580085060.0 | 申请日： | 2015-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN108472558A | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 陈福平;王晖;王希;贾社娜;王丹颖;蒋超伟;代迎伟;王坚 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B01D19/00 | 分类号： | B01D19/00;F04B23/00;F04B15/04;B05C5/00;B05C11/10;B05D1/40 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用来清洗衬底的高温化学溶液供液系统。该系统包括溶液槽、缓冲槽、第一泵和第二泵。溶液槽容纳高温化学溶液。缓冲槽具有槽体、排气管和针阀。槽体容纳高温化学溶液。排气管的一端连接槽体，排气管的另一端连接溶液槽。针阀安装在排气管上，通过调节针阀以达到一流量使高温化学溶液内的气泡通过排气管排出缓冲槽。第一泵的进口连接溶液槽，第一泵的出口连接缓冲槽。第二泵的进口连接缓冲槽，第二泵的出口连接清洗衬底的清洗腔。本发明还提供了一种包括高温化学溶液供液系统和超声波/兆声波装置的衬底清洗装置。本发明还提供了清洗衬底的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 高温化学 排气管 缓冲槽 溶液槽 衬底 清洗 槽体 针阀 出口连接 供液系统 一端连接 容纳 衬底清洗装置 超声波装置 方法和装置 兆声波装置 连接缓冲 超声波 化学品 清洗腔 排出 进口 | ||
【主权项】：
1.一种用来清洗衬底的高温化学溶液供液系统，包括：溶液槽，容纳高温化学溶液；缓冲槽，包括槽体、排气管和针阀，槽体容纳高温化学溶液，排气管的一端连接槽体，排气管的另一端连接溶液槽，针阀安装在排气管上，通过调节针阀以达到一流量使高温化学溶液内的气泡通过排气管排出缓冲槽；第一泵，第一泵的进口连接溶液槽，第一泵的出口连接缓冲槽；以及第二泵，第二泵的进口连接缓冲槽，第二泵的出口连接清洗衬底的清洗腔。
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