[发明专利]基板保持装置有效
| 申请号： | 201580085077.6 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN108291325B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 王晖;贾照伟;杨宏超;吴均;王坚 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板保持装置，包括杯形夹盘(101)、密封件(111)、夹盘板(102)和竖直驱动装置(103)。密封件(111)包括底部(1111)、外壁(1112)和内壁(1114)。内壁(1114)设有唇形密封部(1115)。密封件(111)的底部(1111)和外壁(1112)分别包裹住杯形夹盘(101)的基部(1011)的底壁和侧壁的外表面。唇形密封部(1115)包裹杯形夹盘(101)的支撑部(1014)以密封基板(113)正面的边缘。该装置防止基板正面的边缘、基板的背面及杯形夹盘接触电解液溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 夹盘 杯形 密封件 基板保持装置 唇形密封 内壁 外壁 竖直驱动装置 电解液溶液 密封基板 侧壁 底壁 基板 基部 背面 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种基板保持装置，包括：/n杯形夹盘，包括基部，基部具有底壁、侧壁的外表面和侧壁的内表面，基部的侧壁的内表面倾斜向上突出形成支撑基板正面边缘的支撑部；/n密封件，包括底部、外壁和内壁，内壁设有唇形密封部，密封件的底部包裹杯形夹盘基部的底壁，密封件的外壁包裹杯形夹盘基部侧壁的外表面，密封件的唇形密封部包裹杯形夹盘的支撑部以密封基板正面的边缘；/n夹盘板；以及/n竖直驱动装置，与夹盘板连接，竖直驱动装置驱动夹盘板下降或上升，以使夹盘板压在基板的背面来夹持基板或使夹盘板离开基板的背面。/n
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