[发明专利]带电粒子装置、结构物的制造方法及结构物制造系统有效
| 申请号： | 201580085535.6 | 申请日： | 2015-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN108780728B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 山田笃志;铃木正平;远藤刚;渡部贵志;史蒂芬·弗莱彻;安德烈·丹尼索夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康;尼康计量公众有限公司 |
| 主分类号： | H01J35/16 | 分类号： | H01J35/16;H01J35/08;H01J35/10 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 带电粒子装置具有以下部件：发射电子的电子发射部；被从所述电子发射部发射的电子照射的电子被照射部；可进行内部排气，将所述电子被照射部收纳在内部的收纳部；电线收纳部，用于收纳对所述收纳部中收纳的所述电子被照射部进行通电的电线，从所述收纳部的外部通过所述收纳部中设置的插入部插入电线收纳部；插入部侧突出部，属于所述收纳部的内壁，环绕所述电线收纳部，从所述插入部的附近向所述收纳部的内部突出。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 装置 结构 制造 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子装置，其特征在于，具有以下部件：发射电子的电子发射部；被从所述电子发射部发射的电子照射的电子被照射部；可进行内部排气，将所述电子被照射部收纳在内部的收纳部；电线收纳部，用于收纳对所述收纳部中收纳的所述电子被照射部进行通电的电线，从所述收纳部的外部通过所述收纳部中设置的插入部插入电线收纳部；插入部侧突出部，属于所述收纳部的内壁，环绕所述电线收纳部，从所述插入部的附近向所述收纳部的内部突出。
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