[其他]压电设备

摘要

一种压电谐振器，具备压电薄膜(20)，形成有功能导体(211、212)；固定层(30)，形成于压电薄膜(20)的主面，以使得在俯视下与功能部区域重合的位置形成空隙(300)；和支承基板(40)，形成于固定层(30)的主面，在压电基板的主面形成牺牲层(31)，在压电基板的主面形成固定层(30)，以使得覆盖牺牲层(31)。在固定层(30)的面贴合支承基板(40)，从压电基板剥离形成压电薄膜(20)。在压电薄膜(20)形成功能导体(211、212)，在压电薄膜(20)形成贯通孔(200)，以使得俯视下，横跨固定层(30)与牺牲层(31)的边界，利用贯通孔(200)，通过蚀刻来去除牺牲层(31)，形成空隙(300)。

主权项

一种压电设备，具备：压电膜，具有在厚度方向形成的贯通孔；功能导体，形成于所述压电膜；固定层，形成于所述压电膜的主面，以使得在俯视下与形成有所述功能导体的区域重合的位置形成空隙；和支承基板，形成于所述固定层中的与所述压电膜侧的主面相反的一侧的主面，所述固定层在俯视下与所述贯通孔重合的位置处的所述固定层的内壁，具有阶梯部。