[发明专利]一种装置及该装置的使用方法

摘要

本发明公开了一种装置及该装置的使用方法，用以降低对基板线路维修时失败的几率，提高基板的品质。所述装置包括粉末储藏罐和气体腔体，所述粉末储藏罐设置出气管道，所述出气管道与所述气体腔体连接，其中，还包括监控装置、第一开关和第二开关，监控装置设置在粉末储藏罐和气体腔体之间，与出气管道连通，用于在监控装置与气体腔体之间的气路处于关闭状态时，监控出气管道中单位体积内粉末的含量；第一开关设置在监控装置与出气管道之间，第二开关设置在监控装置与气体腔体之间。

主权项

1.一种气相沉积装置，包括粉末储藏罐和气体腔体，所述粉末储藏罐设置有出气管道，所述出气管道与所述气体腔体连接，其特征在于，还包括监控装置、第一开关和第二开关，所述第一开关设置在所述监控装置与所述出气管道之间，所述第二开关设置在所述监控装置与所述气体腔体之间；所述监控装置设置在所述粉末储藏罐和所述气体腔体之间，与所述出气管道连通，用于在所述第二开关关闭，所述第一开关打开时，监控所述出气管道中单位体积内粉末的含量；所述监控装置包括：粉末收集装置、弹簧和压力传感器；所述粉末收集装置用于，在所述第一开关打开，所述第二开关关闭时，收集所述出气管道中的气态物，并将收集到的气态物凝固为固态物；所述压力传感器通过所述弹簧与所述粉末收集装置连接，用于在气态物凝固为固态物时，通过检测弹簧的压力，得到随时间变化的压力转化为数字信号的数值，根据预先建立的压力与单位体积的粉末含量的对应关系，得到出气管道中单位体积内粉末的含量。