[发明专利]一种基板测试设备有效
| 申请号： | 201610004799.0 | 申请日： | 2016-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN105486239B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 谢少华;刘祖宏;訾玉宝;侯智;叶成枝 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板测试设备，以减小基板上图形线宽的测试误差，进而提高基板的产品品质。基板检测设备包括用于承载基板的支撑平台；用于采集基板上待测线宽图形位置信息的对位装置；朝向支撑平台设置的光强检测装置；控制装置，分别与对位装置和光强检测装置信号连接，用于根据待测线宽图形位置信息，控制光强检测装置移动经过待测线宽图形的上方；根据光强检测装置的检测数据，确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间；根据经过待测线宽图形的时间，确定待测线宽图形的线宽。相比现有技术，本发明实施例大大减小了基板上图形线宽的测试误差，进而提高了基板的产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 测线 光强检测装置 基板 基板测试设备 测试误差 产品品质 对位装置 图形位置 支撑平台 图形线 减小 基板检测设备 采集基板 承载基板 检测数据 检测装置 控制装置 信号连接 控制光 线宽 移动 | ||
【主权项】：
1.一种基板测试设备，其特征在于，包括：用于承载基板的支撑平台；用于采集基板上待测线宽图形位置信息的对位装置；朝向支撑平台设置的光强检测装置；控制装置，分别与对位装置和光强检测装置信号连接，用于根据待测线宽图形位置信息，控制光强检测装置移动经过待测线宽图形的上方；根据光强检测装置的检测数据，确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间；根据所述经过待测线宽图形的时间，确定待测线宽图形的线宽；所述基板测试设备还包括位于支撑平台上的参照基板，所述参照基板具有标准线宽图形；所述控制装置，具体用于根据以下公式，确定待测图形的线宽：T/L＝t/x其中，T为光强检测装置经过标准线宽图形的时间，L为标准线宽图形的标准线宽，t为光强检测装置经过待测线宽图形的时间，x为待测线宽图形的线宽。
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