[发明专利]撕膜装置以及撕膜方法有效
申请号: | 201610005422.7 | 申请日: | 2016-01-05 |
公开(公告)号: | CN105655487B | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
发明(设计)人: | 彭锐;贾文斌;王欣欣;叶志杰;黄磊 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L51/56 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例涉及一种撕膜装置以及撕膜方法。该撕膜装置包括承载台和吸附构件,承载台包括承载面,承载面被配置来承载多层薄膜,多层薄膜包括待撕薄膜,待撕薄膜为多层薄膜中远离承载面的薄膜;吸附构件设置于承载台之上且包括多个第一吸附孔并被配置来吸附待撕薄膜。该撕膜装置减少消耗品胶带的使用,可解决无法将待撕薄膜抓起和/或同时将多层薄膜抓起的问题,节约成本,降低工艺时间并提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 装置 以及 方法 | ||
【主权项】:
1.一种撕膜装置,包括:承载台,其包括承载面,所述承载面被配置来承载多层薄膜,所述多层薄膜包括待撕薄膜,所述待撕薄膜为所述多层薄膜中远离所述承载面的薄膜;吸附构件,其设置于所述承载台之上且包括多个第一吸附孔并被配置来吸附所述待撕薄膜,所述吸附构件是绕轴旋转的吸附构件;至少两个气路,所述多个第一吸附孔被划分为至少两个组,所述每组第一吸附孔与一个所述气路连接,所述气路被配置来为所述每组第一吸附孔提供负压,在沿所述吸附构件的轴向方向上,属于一个组的所述第一吸附孔与属于另一个组的所述第一吸附孔交替设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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