[发明专利]掩膜版安装框架和利用掩膜版安装框架固定掩膜版的方法在审
申请号: | 201610005579.X | 申请日: | 2016-01-04 |
公开(公告)号: | CN105607412A | 公开(公告)日: | 2016-05-25 |
发明(设计)人: | 马群;皇甫鲁江;闵天圭;嵇凤丽 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | G03F1/64 | 分类号: | G03F1/64 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 李相雨 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种掩膜版安装框架和利用掩膜版安装框架固定掩膜版的方法。该掩膜版安装框架包括框架本体和设置在框架本体的第一侧边上的拉伸单元,拉伸单元包括用于连接掩膜版的滑块及使滑块沿垂直于第一侧边的方向滑动的导向机构。本发明在第一侧边上设置有拉伸单元,拉伸单元有用于连接掩膜版的滑块和限制滑块滑动方向的导向机构。在将掩膜版安装到本发明提供的掩膜版安装框架上时,仅需将掩膜版的一端部固定在第一侧边的拉伸单元中的滑块上,滑动滑块,使掩膜版绷紧,安装过程简单。而在使用过程中掩膜版发生松弛时,也只需滑动滑块使掩膜版再次绷紧即可,操作也比较简单,同时由于不需要更换新的掩膜版能够降低OLED面板的制作成本。 | ||
搜索关键词: | 掩膜版 安装 框架 利用 固定 方法 | ||
【主权项】:
一种掩膜版安装框架,其特征在于,包括框架本体和设置在所述框架本体的第一侧边上的拉伸单元,所述拉伸单元包括用于连接掩膜版的滑块及使所述滑块沿垂直于所述第一侧边的方向滑动的导向机构,所述第一侧边为用于固定所述掩膜版的侧边。
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- 专利分类
G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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