[发明专利]掩膜板及其制作方法

摘要

本发明提供了一种掩膜板及其制作方法，该掩膜板包括掩膜板本体，所述掩膜板本体包括透光区域和遮光区域，所述掩膜板还包括设置在所述掩膜板本体上的防划伤层。本发明提供的掩膜板，通过在掩膜板本体上设置防划伤层，在掩模板与待曝光的基板进行对位时，即使待曝光的基板上存在异物，通过该防划伤层可以起到对掩膜板本体的保护作用，从而防止对掩膜板本体造成损伤，避免影响所制作产品的良率。

主权项

1.一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体包括透光区域和遮光区域，其特征在于，所述掩膜板还包括设置在所述掩膜板本体上的防划伤层，所述防划伤层包括自修复材料，所述自修复材料包括自修复微胶囊和催化剂；当所述自修复微胶囊的囊壁破裂时，所述自修复微胶囊的囊芯与所述催化剂接触，所述自修复微胶囊的囊芯在所述催化剂的作用下发生聚合反应从而实现自修复；所述自修复微胶囊的囊壁包括尿素‑甲醛树脂，所述自修复微胶囊的囊芯包括聚二甲基硅氧烷和乙烯类聚合物，所述催化剂包括催化剂铂。