[发明专利]微镜镜面翘曲程度检测装置以及检测方法在审
| 申请号： | 201610008145.5 | 申请日： | 2016-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN106949843A | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 吴亚明;翟雷应;徐静;江火秀 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01B11/255 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种微镜镜面翘曲程度检测装置以及检测方法。所述装置包括样品台，用于放置一待测微镜；入射光模块，用于产生一束照射至待测微镜表面的入射光，入射光照射在所述待测微镜镜面形成入射光斑；驱动模块，机械连接至样品台和/或入射光模块，驱动两者发生相对位移，以使入射光斑在所述待测微镜镜面发生移动；反射光模块，用于将待测微镜镜面的反射光汇聚形成一反射光斑，并测量驱动模块驱动样品台和入射光模块相对移动的过程中反射光斑的位移量，由此可以获得微镜镜面的翘曲程度。 | ||
| 搜索关键词： | 微镜镜面翘曲 程度 检测 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种微镜镜面翘曲程度检测装置，其特征在于，包括：样品台，用于放置一待测微镜；入射光模块，用于产生一束照射至待测微镜镜面的入射光，入射光照射在所述待测微镜镜面形成入射光斑，光斑尺寸小于微镜镜面；驱动模块，机械连接至样品台和/或入射光模块，驱动两者发生相对位移，以使入射光斑在所述待测微镜镜面发生移动；反射光模块，用于将待测微镜表面的反射光汇聚形成一反射光斑，并测量驱动模块驱动样品台和入射光模块相对移动的过程中反射光斑的位移量，由此可以获得微镜镜面的翘曲程度。
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