[发明专利]一种基于模式耦合的太赫兹调制器

摘要

一种基于模式耦合的太赫兹调制器,属于电磁功能器件技术领域，是由衬底、模式耦合人工微结构以及可控动态半导体材料构成。模式耦合人工微结构包括明模谐振单元与暗模谐振单元。暗模谐振单元位于明模谐振单元中央，两谐振单元发生模式耦合形成电磁感应透射窗。动态半导体材料位于暗模谐振单元开口处，在外加激励下，可以改变暗模工作模式从而影响明暗模之间的模式耦合，最终获得可调谐的电磁感应透射窗。本发明所设计的明模谐振单元与暗模谐振单元具有相同的谐振频率点，因而明暗模之间可以进行很好的耦合，其调制带宽具有较高的Q值与较大的调制深度。本发明可采用微细加工的方式进行加工，制备工艺成熟可靠。所得到的器件使用灵活方便，在太赫兹无线通信领域具有很大的潜在应用价值。

主权项

一种基于模式耦合的太赫兹调制器,该调制器包括:衬底、明模谐振单元、暗模谐振单元、动态区，其中明模谐振单元、暗模谐振单元、动态区是位于衬底上的平面结构；明模谐振单元为两个结构相同、开口相对的“U”形振子；暗模谐振单元为带开口的环形结构，该开口朝向其中一个“U”形振子，所述暗模谐振单元设置于明模谐振单元的中心位置；动态区设置于暗模谐振单元的开口处，通过对动态区域的进行通断控制，实现对垂直穿过该器件太赫兹波的动态实时调制。