[发明专利]一种降低导电微纳米线间接触电阻的低温微波退火方法

摘要

一种降低网状导电微纳米线间接触电阻的低温微波快速退火方法，属于微纳米电子学领域中优化基于导电微纳米线的网络结构导电性能的一种方法。所述的导电网络是通过旋涂、涂布、喷涂和混炼等方式将导电微纳米线沉积于衬底上或掺于混合物中而形成的，但该导电网络存在导电微纳米线间接触电阻很大，影响导电的问题。本发明针对这一问题，采用微波快速退火的方法对导电微纳米网进行处理，大幅度降低了导电微纳米线之间的结电阻。本发明具有工艺简单、可大面积和实现三维导电网络优化、易于工业化自动控制等优点。

主权项

一种降低导电微纳米线间接触电阻的低温微波退火方法，该方法包括：步骤1：取所需大小的基底材料，先后置于酒精和丙酮中进行超声清洗，然后用去离子水冲洗掉残留的丙酮，然后进行干燥后备用；步骤2：将清洗干燥过后的基底进行等离子体处理；步骤3：将导电金属微纳米线溶液做超声处理，使微纳米线的分散性更好；步骤4：将导电金属微纳米线溶液旋涂至上述基底上以制备出金属网样品；步骤5：将步骤4获得的金属网样品，进行微波退火处理，使纳米线表面产生表面电流，达到焊接效果。