[发明专利]一种不同涨落源对器件电学特性影响幅度的提取方法有效
| 申请号： | 201610014931.6 | 申请日： | 2016-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN105652175B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 王润声;蒋晓波;黄如 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种不同涨落源对器件电学特性影响幅度的提取方法，属于微电子器件领域。该提取方法利用每个器件的转移曲线Id‑Vg，从曲线上提取得到各个器件的阈值电压Vth和亚阈摆幅SS；从而得到分离后的不同涨落源LER和WFV所造成的器件阈值电压Vth涨落的大小。采用本发明可以实现对涨落源影响幅度加以评估和比较，为工艺优化提供一个很好的指导方向。 | ||
| 搜索关键词： | 涨落 影响幅度 电学特性 器件阈值电压 微电子器件 工艺优化 亚阈摆幅 阈值电压 评估 | ||
【主权项】：
1.一种不同涨落源对器件电学特性影响幅度的提取方法，其特征在于，包括：1)测量器件的转移曲线Id‑Vg，从曲线上提取得到器件的阈值电压Vth和亚阈摆幅SS；2)计算Vth和SS的方差σ2(Vth)、σ2(SS)，以及Vth和SS的协方差Σ；3)由公式![]()
得到LER造成的阈值电压涨落幅度σ(δVth,LER)，其中，k为常数，由公式![]()
计算得到系数k的值；4)由公式![]()
得到金属功函数涨落WFV造成的阈值电压涨落幅度σ(δVth,WFV)。
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