[发明专利]一种氮化物单晶生长装置及方法有效
| 申请号： | 201610017711.9 | 申请日： | 2016-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN105442046B | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 巫永鹏;罗睿宏;陈蛟;张国义 | 申请（专利权）人： | 东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B9/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523518 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化物单晶生长装置和方法，包括反应釜，反应釜内填充反应物溶液，反应釜内设置有晶种支撑装置，该支撑装置完全浸没于反应物溶液中。其特征在于，所述反应釜内设有特殊结构体的晶种支撑装置，晶种模板设置于支撑装置内部，反应物溶液通过晶种支撑装置侧面多孔流入，通过引流装置上下底面多孔流出。本发明有效克服传统反应釜反应物溶液流动无序的问题，有效提高晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化物 生长 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种氮化物单晶生长装置，包括反应釜，反应釜内设置的晶种支撑装置，及连动装置，其特征在于，所述晶种支撑装置为多孔的空心壳体结构，表面通孔与空心壳体内部连通，侧面通孔具有挡片。
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