[发明专利]行星式转动溶液法晶体生长装置

摘要

本发明提供了一种晶体在溶液中做行星式转动的生长装置，该装置包括生长容器、行星式旋转水封、行星驱动机构和晶体托盘。行星驱动机构输出端通过支撑杆与晶体托盘相连，驱动晶体托盘在生长容器中作自转和行星式公转。本发明中，晶体自转和行星式公转由两个电机各自单独驱动，可实现晶体匀速公转和周期性正反自转。选择合适的晶体自转周期和转速，可以最大限度地提高晶体生长过程中各面生长条件的相似性，保持各锥面或柱面生长速率的一致性。与单纯的晶体自转方式相比，本发明可使溶液得到更充分的混合，大大提高溶液中浓度和温度分布的均匀性；同时消除晶体减速、停转及加速自转过程中溶质供应的剧烈波动。

主权项

一种行星式转动溶液法晶体生长装置，其特征在于，包括：晶体生长容器、晶体固定机构、密封装置和行星驱动机构；所述密封装置固定在所述晶体生长容器上；所述行星驱动机构，包括：固定在所述密封装置上的旋转托盘，驱动所述旋转托盘运动的公转驱动电机，以及放置在所述旋转托盘上的自转驱动电机；所述晶体固定机构，包括：承载晶体的晶体托盘，以及连接所述自转驱动电机输出轴的支撑杆；其中，所述公转驱动电机带动所述晶体固定机构作公转运动，所述自转驱动电机带动所述晶体固定机构作自转运动，从而实现所述晶体在生长过程中的行星式转动。