[发明专利]刷片清洗机

摘要

本发明公开了一种刷片清洗机，用于清洗硅片，具有多个清洗单元，每个清洗单元包含：多个片刷；多个喷嘴，包含正面高压水洗喷嘴、正面喷淋水洗喷嘴、背面喷淋水洗喷嘴、边缘高压水洗喷嘴；正面刷背面刷分别位于硅片两面且与硅片接触，对硅片表面产生清洁作用；硅片翻转装置，用于翻转硅片的正反面；发光光源；光量接收单元，与光源分别位于硅片直径方向的两侧，光接收单元接收光源发出的可见光；光量分析单元，接收光接收单元的光量信息；片刷高度分析单元，通过分析光量分析单元的光量信息数据，产生相应的控制数据；驱动步进单元，接收片刷高度分析单元的控制数据，驱动片刷的高度，从而保证片刷与硅片之间始终保持良好的接触。

主权项

一种刷片清洗机，用于清洗硅片，其特征在于：具有多个清洗单元，每个清洗单元包含：多个片刷，包含正面刷、背面刷；多个喷嘴，包含正面高压水洗喷嘴、正面喷淋水洗喷嘴、背面喷淋水洗喷嘴、边缘高压水洗喷嘴；正面刷背面刷分别位于硅片两面且与硅片接触，硅片旋转使片刷与硅片之间产生相对运动，从而片刷对硅片表面产生清洁作用；硅片翻转装置，用于翻转硅片的正反面；光源，发出可见光；光接收单元，与光源分别位于硅片直径方向的两侧，光接收单元接收光源发出的可见光；光量分析单元，接收光接收单元的光量信息；片刷高度分析单元，通过分析光量分析单元的光量信息数据，产生相应的控制数据；驱动步进单元，接收片刷高度分析单元的控制数据，驱动片刷的高度，从而保证片刷与硅片的接触状态。