[发明专利]碲镉汞材料的表面清洗方法

摘要

本发明公开了一种碲镉汞材料的表面清洗方法，其包括对清洗液的选择和清洗步骤。针对碲镉汞表面存在的沾污，本发明选用MOS级三氯乙烯、溴-乙醇、清洗液a和清洗液b对碲镉汞表面进行清洗处理。另外，合理的清洗步骤能获得较好的清洗效果。首先，本发明对碲镉汞表面进行三氯乙烯的兆声清洗，目的是去除表面有机物。然后，对碲镉汞表面进行溴-乙醇腐蚀，目的是去除表面损伤和部分沾污。最后，先后使用清洗液a和清洗液b对碲镉汞表面进行兆声清洗，目的是去除表面离子沾污。本发明的优点是：对离子沾污的清洗效果显著，清洗效果稳定，引入新污染少。

主权项

一种碲镉汞材料的表面清洗方法，其特征在于清洗方法步骤如下：1)在室温条件下，将碲镉汞材料浸入MOS级三氯乙烯溶液，进行功率40～100W、频率750～950KHz的兆声清洗，清洗时间为3～10min；2)将碲镉汞材料浸入冰点的溴和乙醇混合液中，溴与乙醇体积比为1:(5～20)，腐蚀时间为60～120s；3)在室温条件下，将碲镉汞材料浸入清洗液a进行兆声清洗，所述的清洗液a是氢氧化铵和双氧水的混合液，其体积比为：NH₄OH:H₂O₂:H₂O＝(1～10):1:120，兆声功率为40～100W，兆声频率为750～950KHz，清洗时间为3～15min；4)在室温条件下，将碲镉汞材料浸入清洗液b进行兆声清洗，所述的清洗液b是盐酸和双氧水的混合液，其体积比为：HCl:H₂O₂:H₂O＝1:1:(5～15)，兆声功率为40～100W，兆声频率为750～950KHz，清洗时间为10～20min；5)对碲镉汞材料进行氮气干燥。