[发明专利]一种带有检测孔的MEMS微梁应力梯度的测试结构和测量方法有效

专利信息
申请号: 201610027409.1 申请日: 2016-01-15
公开(公告)号: CN105547542B 公开(公告)日: 2018-02-13
发明(设计)人: 唐洁影;王磊;蒋明霞 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: G01L1/24 分类号: G01L1/24
代理公司: 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 代理人: 徐激波
地址: 211189 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开一种带有检测孔的MEMS微梁应力梯度的测试结构和测量方法,包括衬底、两个长锚区、六根带有检测孔的被测悬臂梁。所述两个长锚区固定在衬底的上表面上;所述被测悬臂梁的一端固定在长锚区的一个侧面,另一端刻蚀着一个方形通孔作为检测孔,检测孔的侧壁垂直于表面;所述六根带有检测孔的悬臂梁每三根一组,相互平行的固定在一个长锚区上;所述两组悬臂梁的悬置端两两相对,完全对称的相向放置。当悬臂梁因应力梯度的存在而产生向上或向下的弯曲时,检测孔的侧壁会随之发生倾斜,根据观察到前侧壁或后侧壁在水平面上的投影面积,即可判断被测悬臂梁的弯曲情况。本测试方法降低了对观测设备的要求,直观、方便。
搜索关键词: 一种 带有 检测 mems 应力 梯度 测试 结构 测量方法
【主权项】:
一种带有检测孔的MEMS微悬臂梁应力梯度的测试结构,其特征在于:包括衬底、两个长锚区和六根被测悬臂梁;所述两个长锚区为左侧长锚区和右侧长锚区,分别固定在衬底的上表面上;所述六根被测悬臂梁每三根一组,分为两组,每组中的被测悬臂梁平行等距设置,两组被测悬臂梁分别通过各自的锚区平行并悬置在衬底的上方;第一组被测悬臂梁的一端固定在左侧长锚区的右侧面,另一端刻蚀有检测孔;第二组被测悬臂梁的一端固定在右侧长锚区的左侧面,另一端刻蚀有检测孔;所述检测孔为方形通孔,检测孔的前后左右四面侧壁均垂直于表面;所述两组被测悬臂梁的悬置端相互对应,完全对称的相向放置。
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