[发明专利]一种基于横卧T形梁的MEMS微梁应力梯度的各向异性测试结构和测量方法

摘要

本发明公开一种基于横卧T形梁的MEMS微梁应力梯度的各向异性测试结构和测量方法，包括衬底、正方柱、四个锚区以及四根横卧的T形悬臂梁。所述正方柱固定于衬底上表面的中央位置；所述横卧的T形梁由悬臂梁和梁末端一小截处的宽度宽于其它地方的翼缘构成，横卧T形梁的另一端固定连接在一个锚区的侧面；所述四根横卧的T形悬臂梁的上表面与正方柱的顶面处于同一平面，对称分布于正方柱的四周。当悬臂梁因应力梯度的存在而产生向上或向下的弯曲时，由四根横卧的T形悬臂梁的翼缘边所围成的正方图形将扩大，据此，可判断出结构层应力梯度的大小。本发明降低了对观测设备的要求，直观、方便。

主权项

一种基于横卧T形梁的MEMS微梁应力梯度的各向异性测试结构，其特征在于：包括衬底、正方柱、四个锚区以及四根被测横卧T形梁；所述正方柱固定于衬底上表面的中央位置；所述四根被测横卧T形梁的材料和尺寸完全相同，对称分布于正方柱的四周，并悬置在衬底的上方；被测横卧T形梁的一端分别固定在各自锚区的侧面，另一端在接近末端边缘的一小截处的宽度宽于其它地方形成横卧T形梁的翼缘；所述四根被测横卧T形梁的上表面与正方柱的顶面处于同一平面，且横卧T形梁的翼缘边分别靠近并平行正方柱顶面的四条边，在正方柱外围围成一不完全封闭的正方图形。