[发明专利]减薄装置及其使用方法有效
申请号: | 201610030775.2 | 申请日: | 2016-01-18 |
公开(公告)号: | CN105445976B | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 井杨坤 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 鞠永善 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种减薄装置及其使用方法,属于显示领域。所述减薄装置包括:出液组件、承载组件和静电场组件,承载组件上用于承载待减薄结构的承载面与水平面存在倾角;出液组件的出液口位于承载面较高的一端,出液口的出液方向平行于承载面,出液组件用于向待减薄结构的待减薄表面输出减薄液;静电场组件用于形成静电场,静电场的电场源位于承载面未承载有待减薄结构的一侧,待减薄表面的减薄液位于静电场内。本发明解决了衬底基板表面的平整度较低的问题,达到了提高待减薄表面的平整度的效果,本发明用于基板的减薄。 | ||
搜索关键词: | 承载面 减薄 出液组件 减薄结构 减薄装置 静电场组件 承载组件 出液口 减薄液 静电场 平整度 承载 衬底基板 方向平行 静电 电场源 基板 输出 | ||
【主权项】:
1.一种减薄装置,其特征在于,所述减薄装置包括:出液组件、承载组件和静电场组件,所述承载组件上用于承载待减薄结构的承载面与水平面存在倾角;所述出液组件的出液口位于所述承载面较高的一端,所述出液口的出液方向平行于所述承载面,所述出液组件用于向所述待减薄结构的待减薄表面输出减薄液;所述静电场组件用于形成静电场,所述静电场的电场源位于所述承载面未承载有所述待减薄结构的一侧,所述待减薄表面的减薄液位于所述静电场内。
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