[发明专利]测量装置有效
| 申请号： | 201610031178.1 | 申请日： | 2016-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN105509615B | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 康英男 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B5/14 | 分类号： | G01B5/14 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测量装置，所述测量装置包括横向测量机构、纵向测量机构和定位件，所述定位件能够从初始位置移动至待测量物体的位置，所述横向测量机构用于测量所述定位件横向移动的距离，所述纵向测量机构用于测量所述定位件纵向移动的距离。本发明的测量装置对夹具的固定部与基台之间的横向距离、夹具的夹持部与基台之间的纵向距离进行测量时更加方便。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种测量装置，其特征在于，所述测量装置包括横向测量机构、纵向测量机构和定位件，所述定位件能够从初始位置移动至待测量物体的位置，所述横向测量机构用于测量所述定位件横向移动的距离，所述纵向测量机构用于测量所述定位件纵向移动的距离；所述测量装置能够测量用于固定基板的夹具和用于支撑所述基板的基台之间的距离，所述夹具包括纵向延伸的固定部和与所述固定部相连并朝向所述基台中部横向延伸的夹持部，所述用于固定基板的夹具和用于支撑所述基板的基台之间的距离包括所述固定部与所述基台之间的横向距离以及所述夹持部与所述基台之间的纵向距离，所述定位件包括相连的纵向部和横向部，所述纵向部的至少一部分能够与所述夹具的固定部的朝向所述基台的表面贴合，所述横向部的至少一部分能够与所述夹具的夹持部的朝向所述基台的表面贴合。
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