[发明专利]高灵敏硅二维热式风速计及其制备方法有效
| 申请号： | 201610033615.3 | 申请日： | 2016-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN105675916B | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 秦明;叶一舟;姚玉瑾;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/10 | 分类号： | G01P5/10 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高灵敏硅二维热式风速计及其制备方法，该风速计在衬底材料(1)中心设有通孔，衬底材料(1)表面覆盖低热导率薄膜层(2)，在上表面通孔上方设有加热元件(3)，该加热元件(3)为对称结构，但其覆盖面积小于通孔面积，以加热元件(3)为中心，正交对称分布四个温度传感器(4)。该风速计灵敏度高，并具有工艺简单可靠，功耗低，响应时间快等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 灵敏 二维 风速计 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高灵敏硅二维热式风速计，其特征在于，该风速计在衬底材料(1)中心设有通孔，衬底材料(1)表面覆盖低热导率薄膜层(2)，在上表面通孔上方设有加热元件(3)，该加热元件(3)为对称结构，但其覆盖面积小于通孔面积，以加热元件(3)为中心，正交对称分布四个温度传感器(4)。
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