[发明专利]光滤波器以及使用其的分析设备和光设备有效
| 申请号： | 201610034338.8 | 申请日： | 2011-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN105511072B | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 佐野朗 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G02B6/293;G01J3/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及光滤波器以及使用其的分析设备和光设备。该光滤波器具有：第一基板、第二基板、被设于第一基板的第一对置面中的第一反射膜、被设于第二基板的第二对置面中的第二反射膜、在俯视时在第一反射膜的周围的位置设于第一基板中的第一电极、被设于第二基板中而与第一电极对置的第二电极，在第一对置面及第二对置面的至少一方中形成阶梯部，将第一反射膜与第二反射膜之间的初始间隙制成比第一电极与第二电极之间的初始间隙小，精度优良地控制反射膜间的间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波器 以及 使用 分析 设备 | ||
【主权项】：
1.一种光滤波器的驱动方法，其特征在于，在包括第一反射部和第二反射部，控制上述第一反射部与上述第二反射部之间的第一间隔的光滤波器的驱动方法中，包括：向第一电极与和上述第一电极对置的第二电极之间施加第一电压的步骤；以及向被配置于上述第一电极与上述第一反射部之间且和上述第二电极对置的第三电极与上述第二电极之间施加第二电压的步骤，在俯视的情况下，所述第一电极配置于所述第一反射部的周围。
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