[发明专利]一种储存稳定的感光干膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201610034685.0 | 申请日： | 2016-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN105676593B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 韩传龙;李伟杰;严晓慧;李志强;黄森彪;周光大;林建华 | 申请（专利权）人： | 杭州福斯特应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 311300 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种储存稳定的感光干膜及其制备方法，所述感光干膜依次由支撑膜层、抗蚀剂层和保护膜层构成。其中，支撑膜层为双面热封型PET，具有三层结构，由两层共聚酯PETG层和位于两层共聚酯PETG层之间的PET树脂层组成，克服了常规PET膜热封性能差的缺点。通过加热分切，使得切口处的支撑膜、抗蚀剂和保护膜快速热封，形成宽度为0.1‑2.0mm的热封层，这样可以防止抗蚀剂层发生冷流，抑制边沿流胶，阻隔氧气和水汽破坏，得到储存稳定的干膜成品。另外，即使在加热条件下进行分切，也不会降低干膜的分辨率等性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 储存 稳定 感光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种储存稳定的感光干膜，其特征在于，由感光干膜经加热分切后得到，所述感光干膜依次由支撑膜层、干膜抗蚀剂层和保护膜层构成；其中，支撑膜层为双面热封型PET，具有三层结构，由两层共聚酯PETG层和位于两层共聚酯PETG层之间的PET树脂层组成；所述保护膜层为聚乙烯薄膜层。
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