[发明专利]一种无损检测高精度元件缺陷的方法在审
| 申请号： | 201610035277.7 | 申请日： | 2016-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN105486693A | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 刘刚;张灿;王圣浩;胡仁芳;韩华杰;侯双月;陆亚林 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;郑哲 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种无损检测高精度元件缺陷的方法，包括：搭建依次设置的且包含X射线光源、源光栅G0、分束光栅G1、分析光栅G2及探测器的光路，该光路中的源光栅G0的周期与分析光栅G2的周期、分束光栅G1的周期与分析光栅G2的周期满足预设条件；将待检测高精度元件放置于分束光栅G1与分析光栅G2之间，对待检测高精度元件进行相位衬度成像，获得待检测高精度元件的折射信号和吸收信号，从而对其缺陷进行检测。采用本发明公开的方法，可以快速高效地检测高精度元件的微小缺陷，适用于非透明物体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无损 检测 高精度 元件 缺陷 方法 | ||
【主权项】：
一种无损检测高精度元件缺陷的方法，其特征在于，包括：搭建依次设置的且包含X射线光源、源光栅G0、分束光栅G1、分析光栅G2及探测器的光路，该光路中的源光栅G0的周期与分析光栅G2的周期、分束光栅G1的周期与分析光栅G2的周期满足预设条件；将待检测高精度元件放置于分束光栅G1与分析光栅G2之间，对待检测高精度元件进行相位衬度成像，获得待检测高精度元件的折射信号和吸收信号，从而对其缺陷进行检测。
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