[发明专利]一种新型孪生外置旋转阴极

摘要

本发明公开了一种新型孪生外置旋转阴，所述包括共用靶套、孪生冷却水系统、共用工艺进气系统、孪生平衡磁极系统、共用旋转动力系统、孪生电力接入系统、孪生观察视窗和共用安全保护罩；所述共用旋转动力系统的电机通过同步带同步轮带动共用靶套与相同速度旋转，且共用工艺进气系统通入工作气体将真空维持在工作真空度，由孪生电力接入系统接入相应的高压电，将气体离化成等离子体在孪生平衡磁极系统提供的平衡磁场中进行磁控溅射镀膜。本发明采用线性孪生旋转阴极设计，具有高沉积速率、宽均匀性沉积区、高靶材利用率和高工艺稳定性的特点，同时可实现连续靶面自清洁任意角度安装的大面积新型孪生外置旋转阴极。

主权项

一种新型孪生外置旋转阴极，其特征在于：所述包括共用靶套(1)、孪生冷却水系统(2)、共用工艺进气系统(3)、孪生平衡磁极系统(4)、共用旋转动力系统(5)、孪生电力接入系统(6)、孪生观察视窗(7)和共用安全保护罩(8)；所述共用旋转动力系统(5)的电机通过同步带同步轮带动共用靶套(1)以相同速度旋转，且共用工艺进气系统(3)通入工作气体将真空维持在工作真空度，由孪生电力接入系统(6)接入相应的高压电，将气体离化成等离子体在孪生平衡磁极系统(4)提供的平衡磁场中进行磁控溅射镀膜；所述共用靶套(1)为由阴极套(1‑1)、与阴极套(1‑1)配套的下绝缘座(1‑2)、与阴极套(1‑1)真空密封配套的上绝缘座(1‑3)和与上绝缘座(1‑3)真空密封配套的动密封(1‑4)组成；所述冷却水系统(2)由与下绝缘座(1‑2)通过轴承相配合的下端盖(2‑1)、与下端盖(2‑1)真空密封配合的靶管(2‑2)、与靶管(2‑2)通过低熔点金属焊接配合的溅射靶材(2‑3)、与靶管(2‑2)真空密封配合的上端盖(2‑4)、与下端盖(2‑1)摩擦配合的出水管(2‑5)、与出水管(2‑5)水密封配合的进水管(2‑6)和与进水管(2‑6)、出水管(2‑5)水密封配合的分水器(2‑7)组成；所述工艺进气系统(3)由与工艺气瓶线连接的进气连接管(3‑1)、与阴极套(1‑1)真空配合的密封盖(3‑2)、与工艺进气连接管(3‑1)通联的均气座(3‑3)和与均气座(3‑3)紧固连接的均气盖(3‑4)组成；所述平衡磁极系统(4)由与出水管(2‑5)紧固配合的紧固座(4‑1)、与紧固座(4‑1)紧固连接的磁极座(4‑2)、固定安装在磁极座(4‑2)上南(北)磁极(4‑3)、固定安装在磁极座(4‑2)上的北(南)磁极(4‑4)、与磁极座(4‑2)紧固相连的磁极盖(4‑5)、与出水管(2‑5)紧固连接的磁极方向定位座(4‑6)和与绝缘座(6‑1)紧固连接的磁极定位安装板(4‑7)组成；所述旋转动力系统(5)由与阴极套(1‑1)紧固连接的电机安装座(5‑1)、安装在电机安装座(5‑1)上的伺服电机(5‑2)和通过同步轮和同步带与电机相连的传动轮(5‑3)组成，传动轮(5‑3)与上端盖(2‑4)紧固连接；所述电力接入系统(6)由与电机安装座(5‑1)紧固连接的绝缘座(6‑1)、与绝缘座(6‑1)紧固连接的电极安装座(6‑2)、通过石墨碳刷与电极安装座相连接的导电铜环(6‑3)和防止两个阴极之间放电的灭弧片(6‑4)组成；所述观察视窗(7)为与阴极套(1‑1)真空密封的石英玻璃安装件；