[发明专利]一种无氧镀制宝蓝色PVD膜的方法在审
| 申请号： | 201610041161.4 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN105695941A | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 黎剑文 | 申请（专利权）人： | 东莞沙头朝日五金电子制品有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种无氧镀制宝蓝色PVD膜的方法，采用多弧离子镀膜技术，并采用TiAl合金作弧靶，使钛离子和铝离子均匀的充盈于真空炉内，与氮结合而生成稳定的宝蓝色薄膜，过程中没有使用C2H2或C中的碳元素调色，因此镀膜颜色均匀稳定；另一方面，镀膜过程中没有O2，可以避免镀膜设备氧化的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无氧镀制 宝蓝 pvd 方法 | ||
【主权项】：
一种无氧镀制宝蓝色PVD膜的方法，其特征是：包括如下步骤：1）预处理：将工件表面洗净，脱去氧化膜，放入真空炉内，抽真空，升温；2）生成基础膜层：启动Cr弧靶，在工件表面沉积Cr基础薄膜；3）生成过渡膜层：持续开启Cr弧靶，注入N2使工件表面沉积CrN薄膜；4）生成宝蓝色膜层：关闭Cr弧靶，启动Ti/Al原子比为40∶60至60∶40的TiAl弧靶，并同时注入N2，加载偏压，直至工件表面沉积宝蓝色TiAlN薄膜。
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