[发明专利]基板及其加工方法与装置有效
| 申请号： | 201610042291.X | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN105856444B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 黃炳照;苏威年;郑正元;朱元翰;邱则明;邓信富 | 申请（专利权）人： | 黄炳照 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D5/00;H01L21/3063 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板及其加工方法与装置。该加工方法包括下列步骤：提供一基板本体，该基板本体具有一表面；放置一夹具于该表面上，其中该夹具作为一催化剂；将该基板本体及该夹具置于一反应性液体中；以及经由该反应性液体及该催化剂对该表面进行一化学反应，以加工该基板本体。 | ||
| 搜索关键词： | 及其 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板加工方法，包括下列步骤：提供一基板本体，该基板本体具有一表面；放置一夹具于该表面上，其中该夹具的表面材质为一金属，作为一催化剂；将该基板本体及该夹具置于一反应性液体中，其中该反应性液体包括过氧化氢；以及经由该反应性液体及该催化剂对该表面进行一化学反应，以加工该基板本体。
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