[发明专利]一种驱动薄膜晶体管及其制备方法有效
| 申请号： | 201610044184.0 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN105470311B | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 韩媛媛;朱修剑 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/10;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 彭秀丽 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种驱动薄膜晶体管，包括：缓冲层，半导体层，栅极绝缘层，栅极，层间绝缘层和源漏极；所述半导体层上包括载流子传输通道，所述的载流子传输通道中设有载流子传输阻碍结构，所述的载流子传输阻碍结构为设置在所述载流子传输通道中的微孔，或者是将载流子传输通道的侧壁设置为不规则形状。所述载流子传输阻碍结构能够起到阻碍载流子运输的作用，可以有效降低驱动TFT开启电流Ion，从而减小像素电路的工作电流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种驱动薄膜晶体管，包括：缓冲层(2)，设置在基板(1)上；半导体层(3)，设置在所述驱动薄膜晶体管区域中的缓冲层(2)上；栅极绝缘层(4)，设置在所述缓冲层(2)上，覆盖所述半导体层(3)；栅极(5)，设置在所述栅极绝缘层(4)上；其特征在于，所述半导体层(3)上包括载流子传输通道(7)，所述的载流子传输通道(7)中设有载流子传输阻碍结构；所述载流子传输通道(7)中设置有若干微孔(6)，所述微孔(6)能够阻碍载流子的传输；所述微孔(6)的中心线垂直于所述半导体层(3)；所述微孔(6)的高度小于等于所述半导体层(3)的厚度。
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