[发明专利]一种降低光刻物镜压力灵敏度的方法及其应用有效
| 申请号： | 201610044309.X | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN106997150B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 安福平;郭银章 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种降低光刻物镜压力灵敏度的方法及其应用，该方法包括以下步骤：首先对光刻物镜内的各个透镜间隔针对空气进行焦面或倍率的压力灵敏度测量，并对所有测量数据进行求和得到总和A；接着根据得到的总和A的正负情况，找出与总和A正负一致的N个压力灵敏度最大的透镜间隔，N为≥1的整数；其次对选出的N个透镜间隔针对氦气进行焦面或倍率的压力灵敏度测量；再次根据选出的N个透镜间隔在S1和S3中的压力灵敏度测量值，计算氦气对应的压力灵敏度减小率；最后计算该N个透镜间隔内氦气的比例，使各个透镜间隔的压力灵敏度测量数据之和接近于0。本发明简化了光刻物镜结构的设计难度，节省了物镜开发成本，提高了光刻物镜的套准精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 光刻 物镜 压力 灵敏度 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种降低光刻物镜压力灵敏度的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：对光刻物镜内的各个透镜间隔针对空气进行焦面或倍率的压力灵敏度测量，并对所有测量数据进行求和得到总和A；S2：根据得到的总和A的正负情况，找出与总和A正负一致的N个压力灵敏度最大的透镜间隔，N为≥1的整数，其中，当所有透镜间隔中最大的压力灵敏度值大于总和A时，N＝1；否则，N≥2；S3：对S2中选出的N个透镜间隔针对氦气进行焦面或倍率的压力灵敏度测量；S4：根据S2中选出的N个透镜间隔在S1和S3中的压力灵敏度测量值，计算氦气对应的压力灵敏度减小率；S5：计算该N个透镜间隔内氦气的比例，使各个透镜间隔的压力灵敏度测量数据之和接近于0。
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