[发明专利]一种增强单晶炉热场材料力学性能的方法

摘要

本发明涉及一种增强单晶炉热场材料力学性能的方法，该方法是对单晶炉热场材料表面进行涂层，包括步骤如下：以惰性气体为载气，将碳源气体通过化学气相沉积的方式在单晶炉热场材料表面沉积一层涂层，沉积温度900‑960℃，沉积压力3‑6kPa。本发明对单晶炉热场材料尤其是碳/碳复合材料表面进行涂层，涂层后的产品表面形成一层致密的碳层，能够提高炭纤维与碳基体的结合能力。经过涂层后减少产品中的空隙，增大产品的密度，增加碳/碳复合材料的力学能行。由于致密的碳层存在，能够保护碳/碳复合材料中基体碳与硅蒸气的反应程度，减少腐蚀的程度。

主权项

1.一种增强单晶炉热场材料力学性能的方法，该方法是对单晶炉热场材料表面进行涂层，包括步骤如下：以氮气为载气，将碳源气体通过化学气相沉积的方式在单晶炉热场材料表面沉积一层涂层，沉积温度900‑960℃，沉积压力3‑6kPa；所述的碳源气体为丙烯；碳源气体用量为0.2‑0.5 kg/h，惰性气体流量为1‑2 m3/h；沉积时间为5‑10 h；所述的单晶炉热场材料为碳/碳复合材料坩埚、碳/碳复合材料坩埚筒；所述的碳/碳复合材料坩埚或碳/碳复合材料坩埚筒按如下方法制备得到：a）将碳/碳复合材料坩埚预制体或碳/碳复合材料坩埚筒预制体置于在真空感应炉中，3‑6kPa下，利用丙烯为碳源气体，高纯氮气为载气，在900‑950℃下进行反应，形成碳/碳复合材料坩埚前驱体或者碳/碳复合材料坩埚筒前驱体；b) 将步骤a)制得的碳/碳复合材料坩埚前驱体或者碳/碳复合材料坩埚筒前驱体，在氩气的保护下，900℃高温煅烧48 h，即得到碳/碳复合材料坩埚或坩埚筒。