[发明专利]一种形貌可控的WO3薄膜的制备方法有效

专利信息
申请号: 201610046386.9 申请日: 2016-01-24
公开(公告)号: CN105481264B 公开(公告)日: 2018-03-20
发明(设计)人: 刘志福;梁玉洁;赵喆 申请(专利权)人: 上海应用技术学院
主分类号: C03C17/23 分类号: C03C17/23;B82Y40/00
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司31253 代理人: 杨军
地址: 200235 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种形貌可控的WO3薄膜的制备方法。该方法首先以钨酸钠、盐酸、双氧水为原料,采用溶胶凝胶法在FTO导电玻璃上预先沉积一层籽晶层;然后以钨酸、钨酸钠、双氧水、盐酸为原料利用水热法制备WO3薄膜。本发明合成工艺和所需生产设备简单,易于实现工业化生产,其通过改变溶剂配比,可以得到有效控制形貌的WO3薄膜。
搜索关键词: 一种 形貌 可控 wo sub 薄膜 制备 方法
【主权项】:
一种形貌可控的WO3薄膜的制备方法,其特征在于,具体步骤如下:(1)向Na2WO4·2H2O水溶液中滴加HCl溶液,至不再产生沉淀为止,离心分离,将所得沉淀溶于H2O2中得到透明溶胶,然后通过提拉法将透明溶胶在FTO导电玻璃上沉积,得到带晶种的导电玻璃;(2)将步骤(1)中得到的带晶种的导电玻璃在马弗炉中煅烧,待烧结完毕后,冷却,得到带有WO3晶种层的FTO导电玻璃;(3)向含水的Na2WO4·2H2O溶液中,加入HCl溶液,待沉淀完全时,再向其中加入添加剂和带有WO3晶种层的FTO导电玻璃,水热釜中水热反应,反应结束后,冷却,取出FTO导电玻璃,洗涤、烘干;(4)将步骤(3)的烘干后FTO导电玻璃置于马弗炉中煅烧,烧结完毕后,冷却,得到形貌可控的WO3薄膜;其中:步骤(3)中,含水的Na2WO4·2H2O溶液中,溶剂单独为H2O,或者为水和乙腈组成的混合溶剂;水和乙腈的体积比为1:0~1:1;步骤(1)和步骤(3)中,Na2WO4·2H2O的摩尔浓度在0.1~0.2mol/L之间;步骤(2)中,煅烧条件为:升温速率为1℃/min~3℃/min、保温条件为400℃/30min~400℃/50min;步骤(3)中,水热反应的条件为:温度为100~150℃、时间为3~8h;步骤(3)中,添加剂为尿素和(NH4)2C2O4组成的混合物;步骤(4)中,煅烧条件为:升温速率为1℃/min~3℃/min、保温条件为450℃/30min~450℃/90min。
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